维萨拉测量设备—降低能耗，提高资源效率和质量，为不同行业客户提供可靠测量
目前各行各业的工厂里一定少不了测量设备，特别是半导体晶圆和微电子制造，这是个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器，以准确测量化学品成分和环境条件。
今天要介绍的来自维萨拉的产品，提供能够优化流程以降低能耗，提高资源效率和质量，并减少浪费的测量仪器和解决方案。为不同行业的客户在业务关键领域进行可靠的测量。
Indigo 解决方案
基于科学、经现场验证的技术，适用于苛刻的测量应用
更好的组合 - 模块化Indigo平台
▪ 灵活、可互换
▪ 可扩展性
▪ 可经受长期考验
Indigo 湿度、露点、油中水探头的统一特征
可与Indigo主机设备连接，或通过Modbus RTU独立使用
基于电容薄膜聚合物的HUMICAP®湿度传感器
▪ 化学清除及传感器加热功能 ▪ 高精度和稳定性 （精度高达±0.8%RH）
▪ 快速响应时间 （T63响应时间为15秒） ▪ 化学物质高耐受性
▪ 防冷凝 ▪ 低滞后 ▪ 厂家质量把控
Indigo HMP 温湿度探头
▪ 高精度（±0.8%@23 ℃）和长期稳定性 ▪ 可从冷凝中更快恢复
▪ 对灰尘和大多数化学品不敏感
基于电容薄膜聚合物的DRYCAP®露点传感器
▪高化学物耐受性 ▪ 防冷凝 ▪ 化学清除及传感器加热功能
▪ 快速响应时间63 % (从干到湿5s (15 s) 从湿到干45 s (8 min))
▪ 高精度和稳定性(精度高达+2ºC (+3.6ºF) Td/f)
▪ 厂家质量把控
Indigo DMP 露点及温度探头
高精度和稳定性
▪ 不同型号应对不同温度
数据处理单元Indigo500系列
实现Indigo产品的扩展功能和可用性
①Indigo510 数据处理单元
△简易化，单探头连接
△触摸显示屏，或带LED指示灯的非显示版本
△2路模拟输出
数字输出: RS-485 Modbus TCP/IP
△24 VDC/VAC 供电
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②Indigo520 数据处理单元
△综合化，双探头连接
△触摸显示屏，或带LED指示灯的非显示版本
△数字输出: RS-485 Modbus TCP/IP
4路模拟输出, 2个继电器
保护性超低电压(PELV)
15…35 V DC, 24 V AC/AC
(mains)/以太网供电(PoE)
Indigo300 数据处理单元
用于维萨拉 Indigo 兼容探头的坚固又小巧的主机设备
灵活选择使用电缆或直接与探头进行连接
Indigo300 模拟输出数据处理单元
可搭配一款探头
△彩色LCD显示屏
----带指示灯用于通知或带LED指示灯的非显示屏版本
△3个预先配置的模拟输出（也可轻松的重新配置）
△24 VDC/VAC 供电
△通过变送器主体和DIN导轨安装
（可选安装背板，用于替换HMT330、DMT340和MMT330系列变送器）
01 晶圆切割和探测
• 晶圆切割用于将芯片从晶圆分离 • 通过测量露点温度防止支撑带剥落时发生冷凝
• 通过探针进行芯片测试 • 将晶圆/芯片暴露在不同（极端）温度下以检查 IC 性能
• 为防止试验箱内发生冷凝，必须监测和控制露点
• 维萨拉提供多种型号并适用于OEM 集成的露点变送器，例如：
DMP7适用于较大的测量范围：-70 ...+80 °C 霜/露点
DMT152适用于超干燥条件： -80 ...-20 °C 霜点
02 晶圆光刻机、涂胶显影机
INDIGO520数据处理单元
硅晶圆有光刻胶涂层
• 通过掩模暴露在光线下
• 保留希望显示在晶圆表面的图形
• 显影掩模和蚀刻硅...
• 线宽很窄 很难调整镜头来保持对焦
• 需要测量实时压力、 湿度和温度来调整镜头
